MEMS技术

系统概述MEMS是一种以半导体制造技术为基础发展起来的先进的制造技术平台，它融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、...