大作为

在科技日新月异的今天，微机电系统（MEMS）正悄然引发一场技术革命，这种集微型机构、传感器、执行器以及信号处理和控制电路于一体的微小装置，虽然尺度仅在微米甚至纳米级别，却蕴含着巨大的能量与潜力。MEMS的定义与发展M...