微机电系统（MEMS）

在现代科技的前沿阵地，微机电系统犹如一颗璀璨的新星，正以前所未有的速度崛起并深刻地改变着我们的世界，这一集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等多种功能于一体的微型器件或系统，虽然微小却蕴含着巨大的...